喜開理流量傳感器介紹，CKD銷售

電子部件的吸附確認及各種N2凈化氣體流量的管理。
熱式流量傳感器·生態(tài)流體
顯示器/FSM-V-D
□30×32
可在真空中使用
(正·負壓兩用型)
電子部件的吸附等可用于真空中。
系列 規(guī)格 響應速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方式 流量范圍 雙方向檢測 頁
通過新技術的整流機構(gòu)，實現(xiàn)了原來沒有的緊湊型·高速響應。
與原來產(chǎn)品的體積比
優(yōu)化傳感器，防故障于未然。
門類·用途例子請參照下頁
小型·輕量 高速響應 分離型 整體型 開關輸出 模擬輸出 大流量類型
輸出方式備有模擬輸出型及目視、
可檢測開關異常的數(shù)碼顯示、開關輸出型。
可根據(jù)用途選擇
超小型·輕量 分離型 超高速響應 本體材質(zhì) 開關輸出 模擬輸出 低流量類型 雙方向檢測
可在狹小的空間中或可動部位設置，
使設備小型化,輕量化。
高速響應
采用應用硅微機械加工的白金傳感芯片,實現(xiàn)了高速響應。
超小型 高響應
在確認電子部件等吸附中發(fā)揮威力。
應用硅微機械加工的白金傳感芯片
電子部件的吸附確認及各種N2凈化氣體流量的管理。
熱式流量傳感器·生態(tài)流體
FSM系列/FSM-V系列

喜開理流量傳感器介紹，CKD銷售
不需要直管部分
采用了新技術的整流機構(gòu)，側(cè)和下流側(cè)
都不需要直管部分。
確認實裝機的吸附確認等,及間隔時間短的裝置中。
可在真空中使用(正·負壓兩用型)
電子部件的吸附等可用于真空中。
不需要直管部分
可選擇顯示器整體型和分離型
用途廣泛。
流量范圍
0.5、1、5、10、20、50、100 /min
在確認電子部件等吸附中發(fā)揮威力。
應用硅微機械加工的白金傳感芯片
通過新技術的整流機構(gòu)，實現(xiàn)了原來沒有的緊湊型·高速響應。
采用了新技術的整流機構(gòu)，側(cè)和下流側(cè)
都不需要直管部分。
安裝姿勢自由
上下左右無論哪個方向都可安裝。
可進行流量管理
備有RAPIFLOW 超小型直管型過濾器
采用應用硅微機械加工的白金傳感芯片,實現(xiàn)了高速響應。
確認實裝機的吸附確認等,及間隔時間短的裝置中。
與原來產(chǎn)品響應速度對比
彎頭OK 5msec以下 50msec以下