SUNX晶圓定位傳感器M-DW1,神視定位傳感器基本信息

規(guī)格
種類    LED式反射型
型號    M-DW1
測量距離    45mm
檢測物體    3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對應(yīng)檢測面    有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度    12.5±5°(注4)
晶圓間距    間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5)
適用晶圓盒    SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓    12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下
消耗電流    65mA以下
輸出    NPN輸出／PNP輸出 可由切換開關(guān)選擇
<NPN輸出>
NPN開路集電晶體管
?zui大流入電流：100mA 
?外加電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)
?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí)) 0.4V以下(流入電流為16mA時(shí))
<PNP輸出>
PNP開路集電晶體管
?zui大源電流：100mA
?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)
?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí))
0.4V以下(源電流為16mA時(shí))
    輸出動(dòng)作    可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON
短路保護(hù)    裝備(自動(dòng)復(fù)位)
反應(yīng)時(shí)間    500μs以下

SUNX晶圓定位傳感器M-DW1,神視定位傳感器基本信息
工作狀態(tài)指示燈    橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)
穩(wěn)定指示燈    綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)
定時(shí)器功能    裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器 /無效切換式
投光停止輸入    信號條件
?投光停止：斷開或4?8V
?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度切換輸入    信號條件
?輸入OFF：斷開或4?8V
?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度設(shè)定    背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行
檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4或外部輸入的2選擇式
   保護(hù)構(gòu)造    IP20(IEC)
使用環(huán)境溫度    0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：−10?＋70℃
使用環(huán)境濕度    35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH
使用環(huán)境照明度    白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下
耐電壓    AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
緣電阻    所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振動(dòng)    頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí)
耐沖擊    耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回
投光元件    LED(調(diào)制式)
材質(zhì)    外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯
電纜    0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm
電纜延長    0.15mm2 以上的電纜全長可延長10m
重量    本體重量：約75g
(注1)：無的測量條件為使用環(huán)境溫度＝+20℃。
(注2)：檢測8英寸以下的晶圓時(shí)，可能會(huì)因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測。
(注3)：對于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會(huì)因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
(注4)：晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)，定位邊的zui大跳動(dòng)角度約為±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圓時(shí)的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時(shí)，對于避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號無法分解，變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號。